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MOVCD核心设备实现国产 LED告别“进口依赖”
核心设备及部分原材料依赖进口、外延芯片缺乏核心专利、测试方法及设备支撑不足……一直以来,我国半导体照明产业与国际先进水平存在诸多差距。而作为LED芯片生产核心设备,MOCVD(金属有机化学气相沉积)设备有望率先告别“进口依赖”。
https://news.ca168.com/201301/16599.html    2013-01-16

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